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  • 1958年,天津成立,前身為天津電子管廠,代號天津七〇一工廠 ;
     
  • 1966年,從天津 市搬遷到甘肅平涼,更名為“國營建華機械廠”;
     
  • 1975年,改制為研究所,更名為 “平涼半導體專用設備研究所”;
     
  • 1997年,在河北燕郊經濟技術開發區建立分所;
     
  • 2000年,科研生產主體從甘肅平涼轉移到河北燕郊;
     
  • 2010年,注冊地由甘肅平涼轉移到北京經濟技術開發區,更名為“北京半導體專用設備研究所”;
     
  • 2012年,主體由河北燕郊轉移到北京經濟技術開發區。